안진호 회원 (한양대), 제28회 과학기술우수논문상 수상


우리 학회 종신회원인 안진호 한양대 교수가 지난 6월 27일 COEX 3층 오디토리움에서 열린 2018 대한민국과학기술연차대회에서 제28회 과학기술우수논문상을 수상했다.

2017년도 2월 5일 본 학회에서 발간된 KJMM(대한금속·재료학회지) 55권 2호 139페이지에 게재된 논문인 'Effect of Side Lobe Intensity and Photon Shot Noise Effect on the Missing Hole Phenomenon in Extreme Ultraviolet Lithography (극자외선 노광공정에서의 사이드 로브 세기와 포톤 샷 노이즈 효과가 컨택 홀 missing 현상에 미치는 영향)'에서 제시한 방법이 다른 어떠한 문제해결 방법보다 확실하고 경제적인 방법으로 학술적인 가치뿐만 아니라 산업적이 활용가치도 높은 것을 인정받아 수상하였다.

과학기술우수논문상은 국내 과학기술자가 전년도 국내학술지에 발표된 우수논문(국외학술지에 발표한 논문은 제외)을 대상으로 엄정한 심사를 거쳐 과학기술우수논문으로 선정하는 상으로, 창의적인 연구활동을 통하여 우수한 논문을 발표한 과학기술자를 선정하여 시상함으로써 과학기술자의 연구의욕과 사기를 앙양시킴과 동시에 연구분위기를 진작시키는 한편 우리나라 과학기술의 수준 향상과 선진화에 기여하고 있다.

한편, 안진호 교수는 1995년부터 한양대학교에 재직 중이며 차세대 반도체 양산의 핵심 기술로 많은 학술적인 연구가 필요한 분야인 극자외선 노광기술을 연구하고 있다.